unità di pompa per vuoto a vite Roots per la produzione di semiconduttori

L’unità di pompaggio del vuoto a vite Roots combina i punti di forza delle pompe Roots e delle pompe a vite, offrendo una soluzione di vuoto pulita, efficiente e priva di olio per le applicazioni industriali e di laboratorio più esigenti. Grazie al design a tenuta stagna e all’assenza di olio lubrificante, queste pompe mantengono un’elevata purezza e prestazioni eccezionali durante tutto il funzionamento.

Principio di funzionamento delle pompe per vuoto a vite Roots

• Pompa per vuoto a vite (pre-stadio):Funziona come pompa di pre-stadio, garantendo elevate velocità di pompaggio e bassa pressione di scarico. La compressione meccanica tramite precisi spazi tra le viti garantisce un funzionamento efficiente, a bassa rumorosità e a basse vibrazioni.
• Pompa per vuoto a radici (principale/intermedia):I doppi rotori a rotazione sincrona trasferiscono il gas di scarico dalla camera di aspirazione a quella di scarico. La sigillatura degli spazi impedisce la contaminazione da olio, mantenendo un ambiente di vuoto pulito.
• Funzionamento in serie:Entrambe le pompe funzionano in serie, con la pompa a vite che aumenta il livello di vuoto e la pompa Roots che garantisce un’efficienza di pompaggio stabile e continua.

Vantaggi delle prestazioni

1. Risparmio energetico:Il rapporto ottimizzato tra velocità di pompaggio e grado di vuoto riduce il consumo energetico, superando i sistemi di vuoto tradizionali in termini di efficienza energetica.
2. Alta efficienza:Raggiunge un’efficienza di pompaggio superiore al 90%, garantendo livelli di vuoto elevati con un basso consumo energetico per vari processi.
3. Protezione di sicurezza:Il sistema di controllo avanzato con avvio/arresto automatico, protezione da sovraccarico, sovracorrente e interruzione dell’acqua garantisce una stabilità a lungo termine.
4. Design compatto:La struttura verticale impilabile o a scaletta riduce al minimo l’ingombro, ideale per fabbriche e laboratori con spazio limitato.
5. Configurazione flessibile:Rapporto di velocità di pompaggio regolabile tra le pompe (da 1:2 a 1:8) per adattarsi alle diverse esigenze di lavoro.
6. Prestazioni anticorrosione:Le superfici del troppopieno sono trattate o realizzate con materiali resistenti alla corrosione, adatti all’estrazione di gas corrosivi e al funzionamento in ambienti difficili.

Campi di applicazione

• Industria chimica:Estrazione di solventi organici volatili, gas e per l’uso in reattori sotto vuoto, ampiamente utilizzati nei processi chimici e farmaceutici.
• Produzione di semiconduttori:Supporta i processi di deposizione, pulizia e incisione sotto vuoto.
• Industria alimentare:Essenziale per il confezionamento degli alimenti, la disidratazione e i processi di essiccazione sottovuoto.
• Industria metallurgica:Estrae gas nei forni metallurgici e nei laboratori per stabilizzare i processi di fusione.
• Laboratorio e ricerca scientifica:Ideale per esperimenti sottovuoto e recupero di gas in ambienti scientifici.
• Industria elettronica:Utilizzato nella fabbricazione di circuiti integrati, nel rivestimento sottovuoto di schermi e in altri processi di produzione elettronica.